| اندازه ناحیه کار (قطر*ارتفاع میلیمتر) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| خلاء نهایی (Pa) | 1*10-4 / 1*10-3 | 1*10-4 / 1*10-3 | 1*10-4 / 1*10-3 |
| حداکثر دما (درجه سانتیگراد) | 2400 / 2500 | 2400 / 2500 | 2400 / 2500 |
| یکنواختی دما (درجه سانتیگراد) | ±7.5 | ±7.5 | ±10 |
| نرخ افزایش فشار (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
